ラピダスが露光装置を初搬入

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 次世代半導体の国産化を目指し、北海道千歳市に工場を建設中のラピダス(東京)は18日、極端紫外線(EUV)露光装置を初めて搬入し、設置作業を開始したと発表した。同装置は半導体回路の微細化に不可欠で、来…

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(2024/12/19)