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　2021年にマイクロLEDディスプレーを搭載したARスマートグラスを発売することを公表しているのが、スマートグラスの老舗メーカーである米Vuzixだ。手ごろな価格の一般消費者向けから、セルラー接続機能を搭載したハイエンドのエンタープライズ用まで幅広くラインアップする予定になっており、ここに1インチ前後のモノリシック型マイクロLEDディスプレーを供給するとみられるのが英Plessey Semiconductorsである。VuzixとPlesseyは18年8月に開発提携を結び、19年5月には専用ディスプレーの長期供給契約を締結している。 　PlesseyはGaN on SiliconマイクロLEDアレイを製造し、これを駆動するシリコンバックプレーンは米Compound Photonics（CP社）が供給し、これを貼り合わせてモジュール化する。両社はともに研磨表面処理装置メーカーの米Axus Technologyと協業しており、マイクロLEDアレイとシリコンバックプレーンをAxus社のCMP装置「Capstone CMP」で平坦化する。このプロセスを確立するため、CP社はアリゾナ州チャンドラーに持つマイクロLEDイノベーションセンター「MiARA」でAxus社と共同開発を行っている。 　なお、貼り合わせには、Plesseyが共同開発契約を結んでいるEVGのウエハー接合装置「GEMINI」を活用するとみられる。また、PlesseyはLEDアレイの製造にはAixtronのMOCVD装置「AIX G5 + C」を用いている。 　CP社は20年8月、マイクロLEDディスプレーのプラットフォーム「IntelliPix」を発表し、21年初頭にデモサンプルの提供を開始すると明らかにした。AR/MRのニアアイ用途を想定したもので、同プラットフォームの主要技術として、画素の駆動を最適化し、消費電力を削減できるOnDemand Pixels技術を搭載した。アイトラッキングと組み合わせることもできるといい、これがスマートグラスに搭載されるディスプレーモジュールのベースになるとみられる。 　ちなみに、Plesseyは3月にSNS大手の米Facebookと協業することも発表済みで、Facebookが開発するARスマートグラスにマイクロLEDディスプレーを独占供給するとみられている。本件の

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(2020/10/19)