最先端メモリやロジック向けの新エッチング装置（EE Times Japan）
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アプライド マテリアルズは2020年8月、最先端メモリやロジックチップ向けのエッチング装置「Centris Sym3 Y」を発表した。同社が2015年に市場投入したエッチング装置「Centris Sym3」の新製品で、最先端のメモリ、ロジックチップ上で微細な形状の精密なパターニングや成型ができる。
Centris Sym3は、優れた排気特性を特徴とし、ウエハー処理で堆積されるエッチング副生成物を効率的に除去するコンダクタエッチング装置。新製品のCentris Sym3 Yは、選択可能な材料の幅が広がり、深さや形状の制御性能に優れる。
